| 4000TPI光刻伺服盘的工艺实践 |
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| 引用本文： | 赫连娜 张江陵. 4000TPI光刻伺服盘的工艺实践[J]. 微电子学与计算机, 1993, 10(1): 37-40 |
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| 作者姓名： | 赫连娜 张江陵 |
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| 作者单位： | 华中理工大学计算机系，华中理工大学计算机系，华中理工大学计算机系，华中理工大学计算机系 武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074，武汉 430074 |
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| 摘 要： | 利用光刻技术成功地制作了4000TPI(Tracks Per Inch)伺服盘.通过扫描电镜、振动样品测试仪及干涉仪检测结果证明,所研制了光刻伺服盘达到了设计要求.
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| 关 键 词： | 光刻技术 伺服盘 磁盘 光刻伺服盘 |
The Fabrication Process of 4000TPI Etched Servo Disk |
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| He Lianna,Zhang Jiangling,Wang Zhigang,Luo Gan. The Fabrication Process of 4000TPI Etched Servo Disk[J]. Microelectronics & Computer, 1993, 10(1): 37-40 |
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| Authors: | He Lianna Zhang Jiangling Wang Zhigang Luo Gan |
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| Affiliation: | Computer Department Huazhong University of Science and Technology |
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| Keywords: | Manufacture Servo disk Photolithographic process |
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