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1.3μm InGaAsP/InP大功率短脉冲SPB-BC激光器
引用本文:张佰君,孙伟,衣茂斌,申智渊,李德辉,苗忠礼,高鼎三.1.3μm InGaAsP/InP大功率短脉冲SPB-BC激光器[J].半导体学报,1998,19(7):510-514.
作者姓名:张佰君  孙伟  衣茂斌  申智渊  李德辉  苗忠礼  高鼎三
摘    要:本文在传统的掩埋新月型激光器的基础上,提出了一种1.3μmInGaAsP/InP大功率激光器结构-选择性质子轰击掩埋新月型激光器(SPB-BC).文中对其制作过程及特性进行了详细的描述和测量.它的最低阈值电流小于10mA,对于n-InP衬底,它的最大输出功率为65mW,p-InP衬底,最大输出功率为80mW.在重复频率为2.1GHz时,测得光脉冲的半宽度(FWHM)为18ps.

关 键 词:半导体激光器  SPB-BC  MOCVD
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