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| 片状氮化硼是一种好的硼扩散杂质源 | |
| 作者单位： | 中国科学院一○九工厂 |
| 摘 要： | 片状氮化硼作为硼扩散杂质源,我们用来试生产集成电路低功耗TTL与非双门,低功耗D型触发器以及低功耗四位二进制计数器都得到了满意的结果。在其它工艺条件相同情况下,用片状氮化硼作为硼扩散杂质源所生产的双门,双D中测管芯成品率完全可以达到用粉末状氮化硼源的成品率。在试制中规模集成电路低功耗四位二进制计数器,按二位以上性能好的管芯统计,中测成品率可达15％～20％,其中四位全好的管芯占有 |
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