| 纳秒脉冲微细电化学加工的理论及试验 |
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| 引用本文： | 张朝阳,朱荻,王明环.纳秒脉冲微细电化学加工的理论及试验[J].机械工程学报,2007,43(1):208-213. |
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| 作者姓名： | 张朝阳 朱荻 王明环 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电工程学院,南京,210016 |
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| 基金项目： | 航空基础科学基金
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南京航空航天大学校科研和教改项目 |
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| 摘 要： | 根据电化学反应原理,探讨纳秒脉冲电化学加工的特点及其实现微细加工的机理.建立纳秒脉冲微细电化学加工的理论模型,并分析电解液浓度、加工间隙、脉冲参数和加工电压等因素对微细电解加工的影响作用.构建微细电化学加工系统,包括微细加工机床、纳秒脉冲电源、电解液循环系统、运动控制部分和加工检测部分.试验研究了超短脉冲的电压幅值和脉冲宽度对侧面加工间隙的影响,结果表明减小脉冲宽度和降低加工电压可以提高微细电解加工的精度.在自制的微细电化学机床上,实现工具电极和工件微结构的连续加工.将加工间隙控制在5 μm以内,加工出中间有20 μm×30 μm×30 μm棱台的微型腔和30 μm槽宽的十字形孔,分析加工起始点对成形精度的影响,并提出解决方法.试验证明纳秒脉冲微细电解加工可以很好地满足微机电系统(Micro electromechanical system,MEMS)微器件的加工要求.
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| 关 键 词： | 微细电化学加工 纳秒脉冲 极间间隙 加工精度 纳秒脉冲 微细电化学加工 理论 试验 ELECTROCHEMICAL EXPERIMENTAL RESEARCH 加工要求 微器件 MEMS Micro electromechanical system 微机电系统 验证 方法 成形精度 起始点 分析加工 十字形 槽宽 微型腔 |
| 修稿时间： | 2006年2月8日 |
THEORETICAL AND EXPERIMENTAL RESEARCH INTO ELECTROCHEMICAL MICRO-MACHINING USING NANOSECOND PULSES |
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| ZHANG Zhaoyang,ZHU Di,WANG Minghuan.THEORETICAL AND EXPERIMENTAL RESEARCH INTO ELECTROCHEMICAL MICRO-MACHINING USING NANOSECOND PULSES[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2007,43(1):208-213. |
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| Authors: | ZHANG Zhaoyang ZHU Di WANG Minghuan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Electrochemical micro-machining Nanosecond pulses Inter-electrodes gap Machining accuracy |
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