| BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究 |
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| 引用本文： | 余慧春,惠春,徐爱兰.BST溶胶及其纳米晶铁电薄膜特性研究[J].压电与声光,2006,28(3):321-324. |
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| 作者姓名： | 余慧春 惠春 徐爱兰 |
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| 作者单位： | 上海交通大学 微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海 200030 |
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| 基金项目： | 国防预研基金资助项目(DJ3.5.1) |
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| 摘 要： | 考察了在溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺中化学添加剂对钛酸锶钡(BST)溶胶的粒度分布的影响。通过对化学添加剂的优选,制备出具有优异电性能的BST薄膜。X-射线衍射(XRD)表明在Pt/Cr/SiO2/Si衬底上制备的BST薄膜具有完整的钙钛矿结构,AFM表面形貌显示BST薄膜表面致密、平整、无裂纹,平均晶粒尺寸约50 nm。漏电流测试表明BST薄膜在0~9 V的外加偏压下始终保持着较低的漏电流,在外加偏压为8.8 V时,漏电流密度为2.9×10-6A/cm2。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶(Sol-Gel)工艺 钛酸锶钡(BST)薄膜 粒度分布 漏电流 |
| 文章编号： | 1004-2474(2006)03-0321-04 |
| 收稿时间： | 2004-10-11 |
| 修稿时间： | 2004年10月11 |
Studies on Characteristics of BST Sols and Nanocrystalline Ferroelectric Thin Films |
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| YU Hui-chun,HUI Chun,XU Ai-lan.Studies on Characteristics of BST Sols and Nanocrystalline Ferroelectric Thin Films[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2006,28(3):321-324. |
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| Authors: | YU Hui-chun HUI Chun XU Ai-lan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | a Sol-Gel processing BST thin films size distribution leakage current |
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