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| 超高级别微电子洁净厂房的测试 | |
| 引用本文： | 刘俊杰,朱能,高志红. 超高级别微电子洁净厂房的测试[J]. 暖通空调, 2003, 33(3): 97-98 |
| 作者姓名： | 刘俊杰 朱能 高志红 |
| 作者单位： | 天津大学(刘俊杰，朱能)，天津大学(高志红) |
| 摘 要： | 指出超高级别微电子洁净厂房环境参数对产品质量至关重要。介绍了与超高级别微电子洁净厂房有关的分级标准，并对某0．1μm1级洁净厂房作了实际测试，给出测试项目、测试方法和使用的主要测试仪器。 |
| 关 键 词： | 洁净室 微电子厂房 测试 产品质量 集成电路 |
| 修稿时间： | 2002-07-03 |
Testing high class clean rooms in a microelectronic factory |
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| Abstract: | |
| Keywords: | clean room microelectronic factory testing |
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