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| 光栅传感器正交信号自动实时补偿技术研究 | |
| 引用本文： | 赵雨露,夏豪杰,张瑞.光栅传感器正交信号自动实时补偿技术研究[J].工具技术,2019,53(5):112-116. |
| 作者姓名： | 赵雨露 夏豪杰 张瑞 |
| 作者单位： | 合肥工业大学;合肥工业大学;合肥工业大学 |
| 摘 要： | 为提高光栅尺的测量精度和分辨率,对光栅位移传感器输出信号的自动实时处理方法进行研究。分析了光栅尺输出信号中存在的误差因素,根据Heydemann误差补偿模型修正信号中的非正交误差、直流误差和不等幅误差,利用CORDIC算法对修正后的信号进行细分。处理过程在LabVIEW环境下进行,利用FPGA模块实现信号实时处理,并与XL-80干涉仪比对验证该处理可有效补偿信号中的各类误差,且测量相对误差不超过±2μm。 |
| 关 键 词： | 光栅尺 误差补偿 细分辨向 LabVIEW |
Research on Real-time Compensation Technology for Orthogonal Signal of Grating Sensor |
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