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| W掺杂对CrAlN薄膜微观结构及力学性能的影响 | |
| 引用本文： | 邓玉娟,王宇星. W掺杂对CrAlN薄膜微观结构及力学性能的影响[J]. 工具技术, 2019, 53(3): 97-100 |
| 作者姓名： | 邓玉娟 王宇星 |
| 作者单位： | 衢州职业技术学院;衢州职业技术学院;浙江工业大学 |
| 摘 要： | 通过改变W靶电流,采用磁控溅射技术在M2工具钢表面制备不同W含量的CrAlWN薄膜,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪和摩擦磨损试验仪研究了不同W含量的CrAlWN梯度薄膜的微观结构、膜/基结合力、力学性能和摩擦磨损性能。结果表明:CrAlN和CrAlWN薄膜的表面呈颗粒状,W的掺杂未改变CrAlN薄膜原有的晶体结构;随着W的掺杂和含量提高,CrAlN薄膜的力学性能和摩擦性能均有显著提高。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 CrAlWN薄膜 微观结构 力学性能 摩擦磨损性能 |
Effect of W Content on Micro-structure and Mechanical Properties of CrAlN Coatings |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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