| 锆、钒离子注入铝形成金属间化合物 |
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| 引用本文： | 苗伟,陶琨,李彬,柳百新.锆、钒离子注入铝形成金属间化合物[J].真空科学与技术学报,2001,21(4):269-272. |
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| 作者姓名： | 苗伟 陶琨 李彬 柳百新 |
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| 作者单位： | 清华大学材料科学与工程系 |
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| 摘 要： | 利用金属蒸气真空弧离子源,将大束流Zr和V离子注入到Al中,在离子注入过程中直接形成了金属间化合物Al3Zr,Al10V和Al3V.当Zr离子束流密度为64μA/cm2,剂量为5×1017ions/cm2时,在Al表面形成了稳定相DO23-Al3Zr和亚稳相L12-Al3Zr.当V离子束流密度为51μA/cm2,剂量为3×1017ions/cm2时,在Al表面形成了Al10V和Al3V.Zr和V离子注入到Al中使Al表面的硬度和弹性模量明显提高.
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| 关 键 词： | 金属间化合物 离子注入 力学性能 |
| 文章编号： | 0253-9748(2001)04-0269-04 |
| 修稿时间： | 2000年8月31日 |
Formation of Intermetallic Compounds by Zr and V Ion Implantation into Aluminum |
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| Miao Wei,Tao Kun,Li Bin,Liu Baixin.Formation of Intermetallic Compounds by Zr and V Ion Implantation into Aluminum[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2001,21(4):269-272. |
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| Authors: | Miao Wei Tao Kun Li Bin Liu Baixin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Intermetallic compound Ion implantation Mechanical property |
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