| LCD残留液晶的清洗 |
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| 引用本文： | 李广福,刘玉岭,李薇薇.LCD残留液晶的清洗[J].清洗世界,2006,22(9):24-28. |
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| 作者姓名： | 李广福 刘玉岭 李薇薇 |
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| 作者单位： | 河北工业大学,微电子研究所,天津,300130 |
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| 摘 要： | 指出了去除残留液晶在LCD制造过程中的重要性，并为了适应目前ODS的替代趋势介绍了LCD行业中目前广泛采用的替代ODS的清洗剂和清洗工艺。其中详细介绍了各种替代清洗剂的组成及其优缺点，并对清洗机理进行了一定的分析最终给出了一般的工艺流程。
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| 关 键 词： | 清洗剂 清洗工艺 |
| 修稿时间： | 2006年5月6日 |
Removal of rudimental LC on LCD |
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| LI Guangfu,LIU Yuling,LI Weiwei.Removal of rudimental LC on LCD[J].Cleaning World,2006,22(9):24-28. |
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| Authors: | LI Guangfu LIU Yuling LI Weiwei |
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| Abstract: | The importance of cleaning rudimental LC(liquid crystal) in the making process of LCD is pointed.With the development of cleaners instead of ODS,several kinds of widely used cleaners instead of ODS and cleaning techniques are introduced.The details of the ingredients of cleaners instead of ODS and their advantages and disadvantages are given.Cleaning mechanisms are analysed and generalflows of cleaning technique given. |
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| Keywords: | LCD ODS |
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