| 阳极键合用Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃电学性能 |
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| 引用本文： | 李宏,章钊,王倩,杜芸,程金树.阳极键合用Li2O-Al2O3-SiO2微晶玻璃电学性能[J].硅酸盐学报,2009,37(10). |
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| 作者姓名： | 李宏 章钊 王倩 杜芸 程金树 |
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| 作者单位： | 武汉理工大学,硅酸盐材料工程教育部重点实验室,武汉,430070 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，湖北省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用合适的组分和二步热处理法制备了热膨胀系数与硅片匹配的Li2O-Al2O2-SiO2(LAS)微晶玻璃,并在满足键合所要求的热膨胀系数的基础上,通过调节成分和控制热处理制度,研究了微晶玻璃的导电和介电性能.结果表明:采用不同的热处理制度进行晶化处理,LAS微晶玻璃的主晶相均为β-锂辉石;607℃核化、980℃晶化时间均为3 h样品的热膨胀系数为31.16 ×10℃-1(200～400℃),与硅片热膨胀系数较接近;微晶玻璃的电阻率大于基础玻璃,且随温度的升高电阻率吴下降趋势;改变核化和晶化时间,在150～360℃范围内其电阻率变化不大;微晶玻璃的介电常数和介电损耗均小于基础玻璃,更适宜作为电子器件的绝缘封装材料.
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| 关 键 词： | 阳极键合 硅片 微晶玻璃 电学性能 |
ELECTRICAL PROPERTIES OF Li2O-Al2O3-SiO2 GLASS-CERAMICS USED AS ANODIC BONDING MATERIAL |
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| LI Hong,ZHANG Zhao,WANG Qian,DU Yun,CHENG Jinshu.ELECTRICAL PROPERTIES OF Li2O-Al2O3-SiO2 GLASS-CERAMICS USED AS ANODIC BONDING MATERIAL[J].Journal of The Chinese Ceramic Society,2009,37(10). |
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| Authors: | LI Hong ZHANG Zhao WANG Qian DU Yun CHENG Jinshu |
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