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抑制In元素在CdTe中的退火扩散
引用本文:王丛,王文燕,周朋,赵超,段建春,周立庆.抑制In元素在CdTe中的退火扩散[J].激光与红外,2020,50(5):583-585.
作者姓名:王丛  王文燕  周朋  赵超  段建春  周立庆
作者单位:华北光电技术研究所,北京 100015;华北光电技术研究所,北京 100015;华北光电技术研究所,北京 100015;华北光电技术研究所,北京 100015;华北光电技术研究所,北京 100015;华北光电技术研究所,北京 100015
摘    要:分子束外延HgCdTe/InSb 材料需要阻止 In 元素在 HgCdTe 中的不受控扩散。我们使用 CdTe缓冲层作为阻挡层,以期控制 In 的扩散。为研究 In 元素在 CdTe 材料中的扩散,我们使用分子束外延方法获得CdTe/InSb样品。考虑到在退火时In 元素可能通过环境扩散污染材料,我们使用 SiO2 作为钝化层,通过对比试验发现 In 元素通过环境扩散污染表面的证据,为控制 In 元素的扩散提供新的思路。

关 键 词:InSb  CdTe  In扩散  钝化层

Restrain In diffusion CdTe in a anneal process
WANG Cong,WANG Wen-yan,ZHOU Peng,ZHAO Chao,DUAN Jian-chun.Restrain In diffusion CdTe in a anneal process[J].Laser & Infrared,2020,50(5):583-585.
Authors:WANG Cong  WANG Wen-yan  ZHOU Peng  ZHAO Chao  DUAN Jian-chun
Affiliation:North China Research Institute of Electro-Optics,Beijing 100015
Abstract:Molecular beam epitaxy HgCdTe/InSb materials need to prevent uncontrolled diffusion of In elements in HgCdTe. We use CdTe buffer layer as barrier layer to control In diffusion. In order to study the diffusion of In in CdTe materials, the CdTe/InSb samples are obtained by molecular beam epitaxy. Considering that In element may pollute the material through environmental diffusion during annealing, we use the SiO2 is as passivation layer, and find evidence of in element polluting the surface through environmental diffusion through comparative tests, which provides a new idea for controlling in element diffusion.
Keywords:InSb  CdTe  In diffusion  passivation
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