| CdTe/ZnS双层钝化碲镉汞长波探测器制备的研究 |
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| 引用本文： | 杨朝臣,张冰洁,杜宇,张传杰,陈晓静,谭必松,周文洪,刘斌. CdTe/ZnS双层钝化碲镉汞长波探测器制备的研究[J]. 激光与红外, 2018, 48(9): 1118-1122 |
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| 作者姓名： | 杨朝臣 张冰洁 杜宇 张传杰 陈晓静 谭必松 周文洪 刘斌 |
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| 作者单位： | 武汉高芯科技有限公司,湖北 武汉 430205 |
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| 摘 要： | 开展了CdTe/ZnS双层钝化碲镉汞长波探测器制备的研究。CdTe钝化膜经退火热处理后,可实现CdTe/MCT界面的互扩散,并改善CdTe钝化膜的质量。通过全湿法腐蚀方法完成了金属化开口,制备了长波碲镉汞600×18@15 μm规格线列和640×512@15 μm规格面阵。线列I-V测试表明:CdTe/ZnS双层钝化膜能有效地减少长波碲镉汞器件的表面漏电流,器件的反向结特性良好。面阵在77K测试:NETD 26.7 mK,有效像元率95.4%,并对室温目标进行了凝视成像。测试过程出现了4%左右由噪声引起的零散盲元,是由芯片面阵局部钝化失效引起的,表明钝化膜沉积工艺及芯片加工工艺尚有改进的空间。
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| 关 键 词： | 碲镉汞 长波红外 CdTe/ZnS双层钝化 探测器 |
Study on preparation of long-wave infrared HgCdTe detector with CdTe/ZnS composite passivation films |
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| YANG Zhao-chen,ZHANG Bing-jie,DU Yu,ZHANG Chuan-jie,CHEN Xiao-jing,TAN Bi-song,ZHOU Wen-hong,LIU Bin. Study on preparation of long-wave infrared HgCdTe detector with CdTe/ZnS composite passivation films[J]. Laser & Infrared, 2018, 48(9): 1118-1122 |
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| Authors: | YANG Zhao-chen ZHANG Bing-jie DU Yu ZHANG Chuan-jie CHEN Xiao-jing TAN Bi-song ZHOU Wen-hong LIU Bin |
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| Affiliation: | WuHan Global Sensor Techology Co.,Ltd.,Wuhan 430205,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HgCdTe LWIR CdTe/ZnS composite passivation detector |
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