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微悬臂梁的平衡和稳定性研究
引用本文:唐倩,朱才朝,成功. 微悬臂梁的平衡和稳定性研究[J]. 机械设计与研究, 2006, 22(1): 68-70
作者姓名:唐倩  朱才朝  成功
作者单位:1. 重庆大学,机械传动国家重点实验室,重庆,400044
2. 加拿大多伦多大学,机械工程与工业工程系
基金项目:中国科学院资助项目;同济大学校科研和教改项目
摘    要:对原子力显微镜(AFM)在接触和非接触工作模式下的平衡状态和稳定性进行了研究,分析研究了微悬臂梁的长度以及探针与被测样品表面之间的距离对平衡位置的影响,获得了平衡位置与悬臂梁的长度以及与被测表面之间的规律,该结论为微悬臂的设计和改进提供了理论指导。

关 键 词:原子力显微镜  微悬臂梁  平衡位置  稳定性
文章编号:1006-2343(2006)01-068-03
收稿时间:2005-04-08
修稿时间:2005-04-08

Study on the Equilibrium and Stability of Micro-cantilevers
TANG Qian,ZHU Cai-Chao,CHENG Gong. Study on the Equilibrium and Stability of Micro-cantilevers[J]. Machine Design and Research, 2006, 22(1): 68-70
Authors:TANG Qian  ZHU Cai-Chao  CHENG Gong
Affiliation:1.State Key Laboratory of Mechanical Transmission, Chongqing University, Chongqing 400030; 2. Department of Mechanical and Industrial Engineering, University of Toronto Toronto, Ontario, M5S 3G8, Canada
Abstract:The equilibrium states and their stability of micro-cantilevers used in the AFM under the noncontact and contact mode operations are studied with the energy method.The focus of the study is laid on the influence of the length of the micro-cantilever as well as working distance between the probe and the sample surface upon the system's equilibrium state.The findings from this study can provide useful guidance to the design of micro-cantilevers in the AFM.
Keywords:AFM  micro-cantilever  equilibrium  stability
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