| 热梯度化学气相沉积工艺与设备的发展 |
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| 引用本文： | 蒋建纯. 热梯度化学气相沉积工艺与设备的发展[J]. 炭素, 2003, 0(1): 11-16 |
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| 作者姓名： | 蒋建纯 |
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| 作者单位： | 中南大学,粉末冶金国家重点实验室,湖南长沙,410083 |
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| 摘 要： | 用化学气相沉积法增密多孔坯体，尤其是炭纤维增强坯体，使坯体沿横截面建立起一定的温度梯度，控制碳源气体仅在坯体高温带上裂解、沉积。沉积增密的坯体的电导性和热导性提高，区域温度升高，使高温区向低温区扩展，沉积区逐步扩大。该工艺较能保证获得所需要的材料的显微组织结构，并能大大提高沉积效率。为克服当前广泛使用的等温等压法CVD及压差法CVD的工艺设备生产周期长和生产成本高的不足，本文介绍了几种热梯度化学气相沉积的工艺与设备，同时也比较了其可行性与优缺点。
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| 关 键 词： | 热梯度 化学气相沉积 工艺 设备 发展 感应加热 CVD 多孔坯体 增密 炭／炭复合材料 |
| 文章编号： | 1001-8948(2003)01-0011-06 |
| 修稿时间： | 2002-05-23 |
THE DEVELOPMENT OF PROCESSES AND APPARATUS OF TEMPERATURE GRADIENT CVD |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | inductive heating CVD Porous substrate densification |
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