| 氮分压对钕铁硼表面直流磁控溅射沉积AlN/Al防护涂层结构和性能的影响 |
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| 引用本文： | 李金龙,冒守栋,孙科沸,宋振纶. 氮分压对钕铁硼表面直流磁控溅射沉积AlN/Al防护涂层结构和性能的影响[J]. 中国表面工程, 2010, 23(3): 80-83. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.03.017 |
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| 作者姓名： | 李金龙 冒守栋 孙科沸 宋振纶 |
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| 作者单位： | 中国科学院,宁波材料技术与工程研究所,宁波,315201 |
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| 基金项目： | 中国博士后基金，浙江省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用直流磁控溅射在钕铁硼表面沉积AlN/Al双层防护薄膜来提高磁体的耐腐蚀性能.先在基体表面沉积纯Al薄膜,然后沉积外层AlN薄膜.沉积AlN薄膜时,改变氮气分压,研究氮分压对薄膜结构和耐腐蚀性能的影响.结果显示,AlN纳米颗粒形成于内层Al结晶体表面.氮氩分压比为1:1时,钕铁硼表面形成了更致密的AlN/Al薄膜.膜基界面存在元素的互扩散和冶金结合.氮氩分压为1:1的AlN/Al防护薄膜具有最好的耐腐蚀性能.
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| 关 键 词： | AlN/Al膜 结构 腐蚀性能 |
Effect of Nitrogen Partial Pressure on Structure and Properties of AlN/Al Protective Coatings on NdFeB by DC Magnetron Sputtering |
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| LI Jin-long,MAO Shou-dong,SUN Ke-fei,SONG Zhen-lun. Effect of Nitrogen Partial Pressure on Structure and Properties of AlN/Al Protective Coatings on NdFeB by DC Magnetron Sputtering[J]. China Surface Engineering, 2010, 23(3): 80-83. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.03.017 |
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| Authors: | LI Jin-long MAO Shou-dong SUN Ke-fei SONG Zhen-lun |
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| Affiliation: | Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | NdFeB |
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