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| 改革硅平面晶体管常规工艺的研究 | |
| 作者姓名： | 唐敏 |
| 作者单位： | 华南工学院 |
| 摘 要： | 选用超高频小功率晶体管3DG15做工艺研究实验.实验的方法、结果及其分析如下.一、实验方法及结果1.基区低温氧化及硼扩散采用N/N~+型硅外延片:外延层厚度d外=9μ,电阻率ρ外=0.3～0.5Ω·cm,层错密度N层≤300个/cm~2.取Ⅰ、Ⅱ两批片,Ⅰ批片按常规工艺条件氧化,Ⅱ批片接改革工艺条 |
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