美新半导体追求差异化MEMS技术

位于无锡的美新半导体成立于1999年，是全球首家将MEMs和CMOS电路集成于单一芯片的惯性传感器公司。早期通过ADI专利授权发展起来的美新，通过创新拥有多项自主专利。据美新半导体制造工程总监华亚平介绍，美新公司研发出热对流技术，基于自由对流的传递性，器件通过测量由加速度器所引起的内部温度的变化来测量加速度。由于质量块是气体，不存在固有的可移动机械结构，因此能抵抗超过50000g冲击力（传统加速度传感器的5倍）。依靠该专利，美新成为全球第一家提供使用标准CMOS工艺、单芯片、片上集成混合信号处理的热对流MEMS惯性传感器公司。