| 单悬臂梁阵列式压电能量采集器的研究 |
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| 引用本文： | 贺婷,丑修建,王二伟,甄国涌,张文栋.单悬臂梁阵列式压电能量采集器的研究[J].功能材料,2015(14). |
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| 作者姓名： | 贺婷 丑修建 王二伟 甄国涌 张文栋 |
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| 作者单位： | 中北大学 仪器与电子学院，仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原 030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目，国家自然科学基金杰出青年基金资助项目，国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目 |
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| 摘 要： | 根据当前物联网以及无线传感网络的需求,以MEMS技术为依托,结合压电效应,提出了一种单悬臂梁阵列式压电式能量采集器。在分析压电能量采集器结构力学特性的基础上,详细介绍了两种不同尺寸微结构的设计、加工和测试。采用ANSYS软件仿真,得出两种微结构的谐振频率分别为3.9和4kHz;利用溶胶-凝胶法制备出15和20层的PZT压电功能薄膜,电镜扫描其厚度分别为1 849,2 667nm,AFM对比表面形貌其粗糙度分别为1.8和2.11nm,后者致密更好,颗粒较小,相变温度相对比较高。
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| 关 键 词： | 振动能量采集 压电效应 MEMS ANSYS PZT薄膜 |
Study of a single cantilever array type energy harvester based on piezoelectric effect |
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| HE Ting,CHOU Xiujian,WANG Erwei,ZHEN Guoyong,ZHANG Wendong.Study of a single cantilever array type energy harvester based on piezoelectric effect[J].Journal of Functional Materials,2015(14). |
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| Authors: | HE Ting CHOU Xiujian WANG Erwei ZHEN Guoyong ZHANG Wendong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | vibrational power harvesting piezoelectric effect MEMS ANSYS PZT thin film |
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