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| 军用MEMS箭在弦上 | |
| 引用本文： | 龙马. 军用MEMS箭在弦上[J]. 电子产品世界, 2002, 0(17) |
| 作者姓名： | 龙马 |
| 作者单位： | |
| 摘 要： | MEMS(微电子机械系统)融合了微电子与精密机械制作技术，主要包括传感器、执行器，以及信号处理与控制电路，是系统集成芯片的一个发展方向。MEMS在军事应用中也有十分广阔的前景，正成为国防科技发展的一条新途径。迄今为止，军事装备上大量采用MEMS尚不多见，但其研发涉及范围相当广泛，军用MEMS已是箭在弦上。射频元器件射频介于100KHz至100MHz，但通常指的是100KHz到300GHz的射频、微波和毫米波的频率范围。在射频应用中，MEMS的研究目标为实现集成在单芯片上的射频系统。现基于MEMS的开关、滤波器、可变电容、电感器等射… |
The Development of Military MEMS |
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