| MEMS技术及其在军事中的应用 |
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| 引用本文： | 冯亚林,郝一龙. MEMS技术及其在军事中的应用[J]. 微电子学, 2006, 36(1): 66-69 |
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| 作者姓名： | 冯亚林 郝一龙 |
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| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院 北京100871 |
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| 摘 要： | 微电子机械系统(MEMS)是多种学科的交叉融合,应用领域极为广泛。文章主要阐述了MEMS的设计、加工、封装与测试等技术及其在微/纳卫星、微型飞行器、微型机器人和纳米科技战士等方面的军事应用。
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| 关 键 词： | MEMS 微/纳卫星 微型飞行器 微型机器人 纳米科技战士 |
| 文章编号： | 1004-3365（2006）01-0066-04 |
| 收稿时间： | 2005-09-10 |
| 修稿时间： | 2005-09-102005-12-07 |
MEMS Technology and Its Military Applications |
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| FENG Ya-lin,HAO Yi-long. MEMS Technology and Its Military Applications[J]. Microelectronics, 2006, 36(1): 66-69 |
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| Authors: | FENG Ya-lin HAO Yi-long |
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| Affiliation: | Institute of Microelectronics , Peking University, Beijing 100871, P. R. China |
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| Abstract: | MEMS is an amalgamation of multifold subjects and it can find broad applications in various fields.MEMS technologies,including design,fabrication,package and test,are described,along with its applications in military affairs, such as micro/nano satellites,mini-aerocrafts,mini-robots and nano-warriors. |
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| Keywords: | MEMS Micro/nano satellite Mini-aerocraft Mini-robot Nano-warrior |
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