| ITO纳米粉末爆炸压实烧结致密化陶瓷靶材研究 |
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| 引用本文： | 李晓杰,张越举,王金相,李瑞勇,赵铮. ITO纳米粉末爆炸压实烧结致密化陶瓷靶材研究[J]. 材料科学与工程学报, 2004, 22(1): 12-14 |
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| 作者姓名： | 李晓杰 张越举 王金相 李瑞勇 赵铮 |
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| 作者单位： | 大连理工大学工程力学系,辽宁,大连,116024;大连理工大学工程力学系,辽宁,大连,116024;大连理工大学工程力学系,辽宁,大连,116024;大连理工大学工程力学系,辽宁,大连,116024;大连理工大学工程力学系,辽宁,大连,116024 |
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| 摘 要： | 对ITO商业复合粉末应用爆炸冲击方法压实烧结,并对样品进行了XRD和ESM检测.通过粉末和压实后样品的XRD图及SEM照片的比较,发现在爆炸冲击压实纳米ITO陶瓷粉末时,能够使晶粒度减小,有助于后续烧结密实过程中控制ITO靶材的晶粒度的过分长大;SEM图片显示,在1200℃烧结的靶材微观结构比较均匀.本文探索了纳米ITO粉末冲击压实烧结的微观机理,并与以往人们对粉末的冲击沉能结论进行了比较,得出结论:压实烧结的主要机理是破碎填充效应,使得一部分粉末颗粒表面原子间的距离达到了点阵量级,从而产生键合力;一部分表面原子间的距离达到了一定小的程度,Vander Waals力使其结合.
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| 关 键 词： | ITO 陶瓷靶材 爆炸压实烧结 致密化 |
| 文章编号： | 1004-793X(2004)01-0012-03 |
| 修稿时间： | 2003-05-08 |
Investigation on Densification of ITO Ceramic Target by Using Exploring-Compression and Sinter Nano-powder Technique |
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| LI Xiao-jie,ZHANG Yue-ju,WANG Jing-xiang,LI Rui-yong,ZHAO Zheng. Investigation on Densification of ITO Ceramic Target by Using Exploring-Compression and Sinter Nano-powder Technique[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2004, 22(1): 12-14 |
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| Authors: | LI Xiao-jie ZHANG Yue-ju WANG Jing-xiang LI Rui-yong ZHAO Zheng |
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| Keywords: | ITO ceramic target ECS densification |
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