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高精度大功率压电陶瓷驱动关键技术
引用本文:赵碧杉,尹达一,曾攀,周青.高精度大功率压电陶瓷驱动关键技术[J].压电与声光,2013,35(6):853-857.
作者姓名:赵碧杉  尹达一  曾攀  周青
作者单位:(1.中国科学院 上海技术物理研究所,上海 200083;;2.中国科学院大学,北京 100039)
基金项目:国家自然科学基金资助项目(40776100)
摘    要:压电陶瓷驱动电源是压电陶瓷微位移系统中的关键部件。以高压功率放大器PA93为核心,提出了一种新型高精度、大功率压电陶瓷驱动电源,适合驱动大行程、大推力压电陶瓷致动器。重点阐述了电路的设计方案,对复合放大电路进行了特性分析。实验结果表明,该驱动电源具有精度高,输出电压高,电流大,稳定性好的特点。当驱动等效负载电容为24 μF的压电陶瓷时,在0~100 Hz频率范围内实现了0~10 V信号到0~100 V信号的动态放大,输出电压精度优于3×10-5,最大输出电流350 mA。

关 键 词:压电陶瓷  驱动电源  PA93  高精度  大功率  复合放大

Key Technology of High precision and High Power Piezoelectric Ceramic Drive
ZHAO Bishan,YIN Dayi,ZENG Pan and ZHOU Qing.Key Technology of High precision and High Power Piezoelectric Ceramic Drive[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2013,35(6):853-857.
Authors:ZHAO Bishan  YIN Dayi  ZENG Pan and ZHOU Qing
Affiliation:(1. Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 200083, China;;2. University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China)
Abstract:
Keywords:piezoelectric ceramic  drive power  PA93  high precision  high power  composite amplifier
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