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| 液体低流速测量热分布式微纳传感器制造与测试 | |
| 引用本文： | 车啸婷,王振宇,管轶华,郜晚蕾,金庆辉.液体低流速测量热分布式微纳传感器制造与测试[J].传感器与微系统,2022(4):73-76. |
| 作者姓名： | 车啸婷 王振宇 管轶华 郜晚蕾 金庆辉 |
| 摘 要： | 面向液体低流速测量应用需求,基于介质热传递工作原理,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布式流速传感器,加热和测温元件均采用铂电阻,传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距为0.8 mm,完成了芯片的封装及测试.通过实验测试,在室温条件下,传感器加热电阻为10... |
| 关 键 词： | 低流速测量 热分布式 微纳传感器 铂电阻阵列 |