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杂志ISSN号
液体低流速测量热分布式微纳传感器制造与测试
作者姓名:
车啸婷
王振宇
管轶华
郜晚蕾
金庆辉
摘 要:
面向液体低流速测量应用需求,基于介质热传递工作原理,采用微电子机械系统(MEMS)加工技术制备了以玻璃为衬底的微纳热分布式流速传感器,加热和测温元件均采用铂电阻,传感器芯片尺寸仅为10 mm×10 mm,测温电阻与中心加热电阻的间距为0.8 mm,完成了芯片的封装及测试.通过实验测试,在室温条件下,传感器加热电阻为10...
关 键 词:
低流速测量
热分布式
微纳传感器
铂电阻阵列
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