| 比对法漏率校准装置 |
| |
| 引用本文： | 张涤新,冯焱,张建军,郭美如,沈辉.比对法漏率校准装置[J].真空,2002(4):14-17. |
| |
| 作者姓名： | 张涤新 冯焱 张建军 郭美如 沈辉 |
| |
| 作者单位： | 国防科工委真空计量一级站,甘肃,兰州,730000 |
| |
| 摘 要： | 比对法漏率校准装置是计量气体漏率的一种装置 ,可绝对法和相对法对真空漏孔进行校准。绝对法的校准范围为 10 - 4～ 10 - 9Pa· m3/s;相对合成标淮不确定度为小于 10 %。相对比对法的校准范围为 10 - 6～10 - 1 0 Pa· m3/s,相对合成标准不确定度为小于 2 5 %。
|
| 关 键 词： | 比对法 漏率校准装置 真空计量 漏率校准 真空漏孔 |
| 文章编号： | 1002-0322(2002)04-0014-04 |
| 修稿时间： | 2001年11月23 |
Calibration apparatus of comparison leak rate method |
| |
| ZHANG Di xin,FENG Yan,ZHANG Jian jun,GUO Mei ru,SHEN Hui.Calibration apparatus of comparison leak rate method[J].Vacuum,2002(4):14-17. |
| |
| Authors: | ZHANG Di xin FENG Yan ZHANG Jian jun GUO Mei ru SHEN Hui |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | vacuum metrology leak rate calibration vacuum leak |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ |
|
