| 不同厚度样品的表面光洁度对光声信号的影响 |
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| 引用本文： | 王桂芬 马根源. 不同厚度样品的表面光洁度对光声信号的影响[J]. 光电工程, 1990, 17(5): 45-49 |
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| 作者姓名： | 王桂芬 马根源 |
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| 作者单位： | 南开大学物理系 天津(王桂芬，马根源)，南开大学物理系 天津(张光寅) |
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| 摘 要： | 采用光声室和压电陶瓷两种检测方式,研究了不同厚度的单晶硅表面光洁度变化对光声信号的影响。结果表明,样品越薄,随着样品表面光洁度变差,光声信号增加得越迅速。
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| 关 键 词： | 单晶硅 表面光洁度 声光信号 |
Influence of Surface Finish of Different Thickness Sample on Optic-Acoustic Signal |
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| Wang Guifen,Ma Genyuan,Zhang Guangyin. Influence of Surface Finish of Different Thickness Sample on Optic-Acoustic Signal[J]. Opto-Electronic Engineering, 1990, 17(5): 45-49 |
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| Authors: | Wang Guifen Ma Genyuan Zhang Guangyin |
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| Abstract: | We investigated the influence of surface finish of single crystal silicon ofdifferent thickness on the opticacoustic signal.Results show that when the sampleis thinner,the surface finish of sample is worse,and the optic-acoustic signal isincreased more rapidly. |
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| Keywords: | Photoacoustic spectra Optoacoustic detection Single crystals Finish |
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