| 白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的研究 |
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| 引用本文： | 孙艳,杨玉孝.白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的研究[J].激光与红外,2003,33(2):150-152. |
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| 作者姓名： | 孙艳 杨玉孝 |
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| 作者单位： | 1. 空军工程大学航空电子工程系,陕西,西安,710038;西安交通大学激光红外研究所,陕西,西安,710049
2. 西安交通大学激光红外研究所,陕西,西安,710049 |
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| 摘 要： | 文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法。无需测量干涉条纹，通过对透明薄膜的反射光谱进行分析，可以测出薄膜的厚度。测试膜片上不同点的厚度，可以得到物体表面微观状貌。该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用。薄膜厚度测量范围为0．2-小于20μm，无横向测试范围的限制。在对SiO2薄膜的测试中，和椭圆偏振仪的测试结果相对照，纵向测量误差小于2nm。文中介绍的测试系统结构简单，测试精度高，测试结果可靠，具有较强的实用性。文章最后给出了对介质薄膜软酸铅(PbTiO3)表面的测试研究结果。
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| 关 键 词： | 白光干涉法 薄膜表面微观不平度 光纤 测量 钛酸铅薄膜 厚度 电容器 工作原理 |
| 文章编号： | 1001-5078(2003)02-0150-03 |
| 修稿时间： | 2002年7月8日 |
Research on Microcosmic Uneven Degree of Film Surface Measurement by White Light Interference Methods |
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| SUN Yan,YANG Yu-xiao.Research on Microcosmic Uneven Degree of Film Surface Measurement by White Light Interference Methods[J].Laser & Infrared,2003,33(2):150-152. |
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| Authors: | SUN Yan YANG Yu-xiao |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface roughness white light interference fiber |
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