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| 用XPS研究快速热退火形成TiSi_2的热氧化 | |
| 作者姓名： | 陈存礼 李建年 华文玉 |
| 作者单位： | 南京大学物理系 南京210008(陈存礼)，中国科学院中国科技大学结构分析开放研究实验室 合肥230026(李建年)，华东工学院应用物理系 南京210014(华文玉) |
| 摘 要： | 用XPS结合AES、SEM、XRD分析研究了快速热退火形成的TiSi_2经100—1000℃、20—60 的热氧化行为.TiSi_2表面由SiO_2+ TiO_2组成的混合层随着氧化温度的升高或是氧化时间的延长向SiO_2层过渡.提出一个“氧化时间两个阶段”的模型解释了实验结果. |
| 关 键 词： | 硅化物 热退火 热氧化 硅化钛 XPS |
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