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| 硼磷硅玻璃在俄歇电子谱分析中的电子束和离子... | |
| 引用本文： | 陈维德 Bender,H.硼磷硅玻璃在俄歇电子谱分析中的电子束和离子...[J].半导体学报,1991,12(5):284-288. |
| 作者姓名： | 陈维德 Bender H |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 硼磷硅玻璃 AES 电子束 离子束 |
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