| 激光全息光刻技术及其应用 |
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| 引用本文： | 宋登元,王小平.激光全息光刻技术及其应用[J].半导体技术,2000,25(2):14-16. |
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| 作者姓名： | 宋登元 王小平 |
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| 作者单位： | 1. 河北大学电子与信息工程系,保定,071002
2. 张家口职工大学,张家口,075000 |
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| 摘 要： | 论述了激光全息光刻技术的基本原理、发展状况和在制备衍射光栅及场发射平板显示器等光电子器件方面的应用。
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| 关 键 词： | 激光 全息光刻 光电子器件 |
Laser Holographic Lithography and Applications |
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| Song Dengyuan,Wang Xiaoping.Laser Holographic Lithography and Applications[J].Semiconductor Technology,2000,25(2):14-16. |
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| Authors: | Song Dengyuan Wang Xiaoping |
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| Abstract: | The basic principle and development of the laser holographic lithography are des cribed with emphasis on the applications in photoelectronic devices such as the manufacture of grating and field emission displays(FEDs). |
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| Keywords: | Laser Holographic lithography Photoelectronics device |
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