基于小波变换的光学元件激光损伤三维形貌重构方法 |
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作者姓名: | 殷晨轩 麻云凤 程旺 郭广妍 杨学博 白芳 曹灿 周家玮 吕玮智 朱永健 廖利芬 樊仲维 |
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作者单位: | 1. 中国科学院空天信息创新研究院光学工程研究部;2. 中国科学院大学光电学院;3. 中国计量大学光学与电子科技学院 |
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基金项目: | 国家重点研发计划(2021YFB3601400);;中国科学院青年创新促进会(Y2021048); |
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摘 要: | 为实现激光损伤在线显微三维形貌的快速重构,提出一种基于小波变换的改进聚焦形貌恢复(SFF)算法。利用三维聚焦评价函数逐点反演深度信息,重构光学元件激光损伤三维形貌。采用激光损伤在线显微成像装置,利用所提算法对银反射镜表面激光损伤区域进行三维形貌重构。结果表明:所提改进算法的清晰度比率、灵敏度、平缓区波动量分别为2.608、0.131、0.356,对最大深度为169.8μm的被测区域,测量相对误差为1.56%;相比传统方法,清晰度比率提升约1倍、灵敏度提升约3倍、深度测量相对误差降至1/10,平缓区波动量可以达传统方法的1.1倍。所提算法已用于在线显微损伤判别系统的研制,实现了激光损伤三维形貌在线快速重构测量。
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关 键 词: | 激光损伤 小波变换 聚焦形貌恢复 三维形貌重构 |
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