| MOEMS器件研究及其应用 |
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| 引用本文： | 巫正中,钟先信,李晓毅,余文革.MOEMS器件研究及其应用[J].光学精密工程,2004,12(Z1):36-39. |
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| 作者姓名： | 巫正中 钟先信 李晓毅 余文革 |
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| 作者单位： | 1. 重庆大学光,电技术与系统开放实验室微系统中心,重庆,400044;后勤工程学院,后勤自动化工程系指挥自动化教研室,重庆,400042
2. 重庆大学光,电技术与系统开放实验室微系统中心,重庆,400044 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究规划项目"集成微光机电系统"课题资助(No.G1999033105)本文受国家重点基础研究规划项目"集成微光机电系统"课题资助(课题编号:G1999033105). |
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| 摘 要： | 近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.
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| 关 键 词： | MEMS MOEMS 微机械 微光学 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)03-0036-04 |
| 收稿时间： | 2004/4/18 |
| 修稿时间： | 2004年2月22日 |
MOEMS device and its applications |
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| WU Zheng-zhong,ZHONG Xian-xin,LI Xiao-yi,YU Wenge.MOEMS device and its applications[J].Optics and Precision Engineering,2004,12(Z1):36-39. |
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| Authors: | WU Zheng-zhong ZHONG Xian-xin LI Xiao-yi YU Wenge |
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