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测辐射热计的氧化钒薄膜成技术研究和微桥结构研制
引用本文:
陈建国,郭群英,等.测辐射热计的氧化钒薄膜成技术研究和微桥结构研制[J].集成电路通讯,2001(3):33-36.
作者姓名:
陈建国
郭群英
摘 要:
介绍了研制中的测辐射热计的工作原理,器件结构的几何形状和研制状况,叙述了测辐射热计材料的特征及制备技术。
关 键 词:
测辐射热计
微桥结构
氧化钒薄膜
红外探测器
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