基于MT光纤适配器的光垂直耦合器件制备技术研究北大核心 |
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作者姓名: | 严新捷 庞拂飞 邓传鲁 刘奂奂 王廷云 |
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作者单位: | 1.上海大学特种光纤与光接入网省部共建重点实验室200072;2.上海大学通信与信息工程学院200072; |
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基金项目: | 上海市科学技术委员会科研计划项目(16511104300)资助 |
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摘 要: | 针对光波导互连背板中的光纤-光波导垂直(90°转向)耦合技术,提出了一种基于MT光纤适配连接器的光垂直耦合器件制备方法。详细阐述了紫外光固化胶在光纤适配连接器上的涂膜方法,通过准分子激光器的阶梯刻蚀法对固化胶薄膜顶部端面进行45°微反射镜制备;分析了所制备样品参数如斜面粗糙度、斜面几何尺寸以及耦合元件垂直耦合性能。
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关 键 词: | 光波导 紫外光固化胶 光纤适配连接器 涂膜方法 垂直耦合 |
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