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基于MT光纤适配器的光垂直耦合器件制备技术研究北大核心
作者姓名:严新捷  庞拂飞  邓传鲁  刘奂奂  王廷云
作者单位:1.上海大学特种光纤与光接入网省部共建重点实验室200072;2.上海大学通信与信息工程学院200072;
基金项目:上海市科学技术委员会科研计划项目(16511104300)资助
摘    要:针对光波导互连背板中的光纤-光波导垂直(90°转向)耦合技术,提出了一种基于MT光纤适配连接器的光垂直耦合器件制备方法。详细阐述了紫外光固化胶在光纤适配连接器上的涂膜方法,通过准分子激光器的阶梯刻蚀法对固化胶薄膜顶部端面进行45°微反射镜制备;分析了所制备样品参数如斜面粗糙度、斜面几何尺寸以及耦合元件垂直耦合性能。

关 键 词:光波导  紫外光固化胶  光纤适配连接器  涂膜方法  垂直耦合
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