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| 涡轮分子泵的技术与应用 | |
| 引用本文： | W, Becker, ,K. H. Bernhardt ,陈大洋.涡轮分子泵的技术与应用[J].真空,1985(2). |
| 作者姓名： | W Becker K. H. Bernhardt 陈大洋 |
| 摘 要： | 涡轮分子泵最初仅用来获得超高真空。目前这种泵已经广泛地应用在许多技术领域中,诸如半导体生产、电子显微镜、薄膜与核聚变技术等。符合现代标准的涡轮分子泵应即能满足上述技术的要求,同时又不必耗费更多的资金。先进的分子泵对所有气体的抽速几乎是相同的。本文介绍了借助某些简单的计算公式计算法兰直径、材料质量以及叶片形状等因素对抽速与工作频率产生的影响。文章讨论了不同的驱动电机和轴承所具有的优点和弊端。本文还介绍了为满足抽出腐蚀性气体、核聚变以及空间技术的要求对泵结构进行了专门的改进。 1.导言 自从1956年发明涡轮… |
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