| 变截面梁的微电镀研究 |
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| 引用本文： | 刘益芳,吕文龙,孙道恒.变截面梁的微电镀研究[J].中国机械工程,2005,16(Z1):404-406. |
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| 作者姓名： | 刘益芳 吕文龙 孙道恒 |
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| 作者单位： | 厦门大学,厦门,361005 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50275127);福建省自然科学基金资助项目(A0110003);福建省科技计划资助项目(2002H022) |
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| 摘 要： | 介绍了微电镀原理和设计了微电镀平台,设计了悬臂梁的微电镀工艺流程.为了提高镍微电镀镀层的均匀性和降低镀层的内应力,以及如何解决表面积差异悬殊的镀层厚度的一致性问题,研究了不同电镀参数下的悬臂梁的电镀效果.实验结果表明,脉冲电源电镀优于直流电源电镀,且在阴极前放置细铁丝网、适当降低电流密度、增大占空比、延长电镀时间可以提高镀层厚度的一致性和镀层表面的均匀性.
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| 关 键 词： | 悬臂梁 变截面 微电镀 一致性 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0404-03 |
| 修稿时间： | 2005年5月5日 |
Research on Micro-electroplating of Beam with Variable Cross-section |
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| Liu Yifang,Lü Wenlong,Sun Daoheng.Research on Micro-electroplating of Beam with Variable Cross-section[J].China Mechanical Engineering,2005,16(Z1):404-406. |
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| Authors: | Liu Yifang Lü Wenlong Sun Daoheng |
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