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责任编辑
分类号
杂志ISSN号
太阳电池新材料a-SiSn:(Cl,H)的研制
作者姓名:
李长健
殷永柏
徐温元
作者单位:
南开大学电子科学系(李长健,殷永柏),南开大学电子科学系(徐温元)
摘 要:
本文报道了以SnCl_4为源a-SiSn:(Cl,H)的研制工作。该材料中Cl含量可通过改变衬底温度和射频功率调节,不显著地影响Sn的比例。掺入较小量的Sn可获得光学带隙较窄的材料,有利于减小材料的无序程度。
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