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太阳电池新材料a-SiSn:(Cl,H)的研制
作者姓名:李长健  殷永柏  徐温元
作者单位:南开大学电子科学系(李长健,殷永柏),南开大学电子科学系(徐温元)
摘    要:本文报道了以SnCl_4为源a-SiSn:(Cl,H)的研制工作。该材料中Cl含量可通过改变衬底温度和射频功率调节,不显著地影响Sn的比例。掺入较小量的Sn可获得光学带隙较窄的材料,有利于减小材料的无序程度。

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