“PERC+SE”单晶硅太阳电池氧化工艺研究 |
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引用本文: | 刘苗,张建军,张永,许志卫,李景.“PERC+SE”单晶硅太阳电池氧化工艺研究[J].太阳能,2022(8):70-74. |
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作者姓名: | 刘苗 张建军 张永 许志卫 李景 |
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作者单位: | 晶澳太阳能有限公司 |
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摘 要: | “PERC+SE”单晶硅太阳电池制备过程中,相较于传统的酸抛工艺,在碱抛光工艺之前(即氧化环节)先要制备氧化层SiO2膜作为掩膜,以保护硅片正面。目前,行业内主要有2种制备SiO2膜的方式,一种是采用管式扩散炉,另一种是采用链式氧化炉。从实际应用来看,相较于管式扩散炉,链式氧化炉的生产线兼容性更好,产能也更高;而从理论上来看,管式扩散炉比链式氧化炉制备的SiO2膜更加致密,膜层对掺杂区域的保护也更好。对于这2种设备,从制备的SiO2膜厚度,硅片氧化前、后和碱抛光后的方块电阻变化,以及制得的“PERC+选择性发射极(SE)”单晶硅太阳电池的电性能3个方面进行详细对比。结果显示:管式扩散炉与链式氧化炉制备的SiO2膜对SE激光重掺杂区域的保护效果略有差别,但对太阳电池电性能的影响较小,可忽略。因此,结合生产线兼容性及产能情况,链式氧化炉比管式扩散炉更具有推广优势。
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关 键 词: | 单晶硅太阳电池 选择性发射极 PERC 碱抛光 SiO2膜 掩膜 |
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