| 冷阴极X射线管关键部件的设计与仿真 |
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| 引用本文： | 张扬,李振军,李元勋,李驰,赵立业,戴庆.冷阴极X射线管关键部件的设计与仿真[J].真空电子技术,2022(4):36-42. |
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| 作者姓名： | 张扬 李振军 李元勋 李驰 赵立业 戴庆 |
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| 作者单位： | 1. 国家纳米科学中心中科院纳米光子材料与器件重点实验室(筹);2. 东南大学仪器科学与工程学院;3. 广东粤港澳大湾区国家纳米科技创新研究院 |
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| 基金项目： | 国家重点研发计划纳米科技重点专项(2016YFA0202000)；;国家自然科学基金面上项目(52072084,51972072)；;广东省重点领域研发计划项目(2020B0101020002)； |
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| 摘 要： | 利用CST粒子工作室软件设计仿真了一种高电子通过率冷阴极微焦点X射线管。重点分析X射线管阴极结构、栅网和聚焦极的结构与电压、阳极电压等关键因素对电子束聚焦束斑的影响，特别是设计了一种独特的阴极凹槽结构，使阴极电子束发射的散角减小了21.84°,并使电子枪通过率从54.3%增加至74.59%。在此基础上设计的碳纳米管X射线管在阳极电压为70 kV时，电子通过率可达到75%,电子束焦点约为56 μm,聚束比为5∶1,可为冷阴极微焦点X射线管的设计和加工提供参考。
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| 关 键 词： | 冷阴极X射线管 场致发射 CST仿真 通过率 |
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