| 一种新型解耦陀螺的结构及电路设计 |
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| 引用本文： | 张燕燕,侯朝焕.一种新型解耦陀螺的结构及电路设计[J].微计算机应用,2009,30(9). |
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| 作者姓名： | 张燕燕 侯朝焕 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所,北京,100190 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的静电驱动微机械陀螺结构,采用两组对称的梳齿结构作为驱动电极,同时采用中央质量块栅格和另外一组梳齿两种结构检测感应模态的振动.该结构阻尼系数小,可达到较高的测量分辨率和准确率.本文采用解析方法和有限元法分析了该结构的振动阻尼特性、机械解耦和噪声特性以及梳齿结构的电磁学特性.提出了该结构的驱动电路和信号检测电路,并对电路特性进行了仿真分析.
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| 关 键 词： | 微机械陀螺 解耦 检测电路 特性分析 |
Designing of Structure and Circuit of a Novel Decoupled Micro-machined Gyroscope |
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| ZHANG Yanyan,HOU Chaohuan.Designing of Structure and Circuit of a Novel Decoupled Micro-machined Gyroscope[J].Microcomputer Applications,2009,30(9). |
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| Authors: | ZHANG Yanyan HOU Chaohuan |
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