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红外折/衍混杂f-theta镜研究
引用本文:王肇圻, 刘娟, 傅汝廉. 红外折/衍混杂f-theta镜研究[J]. 红外技术, 2006, 28(2): 77-80. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.02.004
作者姓名:王肇圻  刘娟  傅汝廉
作者单位:南开大学现代光学研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学现代光学研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071;南开大学现代光学研究所,光电信息技术科学教育部重点实验室,天津,300071
摘    要:根据现代红外激光扫描系统的需求,分别设计了工作于808 nm~1064 nm波段和1064 nm~1500 nm波段的折/衍混杂f-theta系统.系统分别由三片镜和四片镜组成,激光扫描范围分别为100 mm×100 mm和60 mm×60 mm.此二系统相配合,可以完成在808 nm~1500 nm波长范围的激光扫描工作.点列图分析表明,输出光斑质量优良均匀,在0视场、0.7视场、和全视场光斑均接近衍射极限.像差分析表明,系统最大色差为26 μm,最大场曲小于0.3 mm,最大f-theta误差小于0.03%.满足现代多工作波长、高精度激光打标机的实际需求.

关 键 词:f-theta透镜  折/衍混杂系统  激光打标  光学设计
文章编号:1001-8891(2006)02-0077-04
收稿时间:2005-06-23
修稿时间:2005-06-232005-10-28

Design of Hybrid Refractive-Diffractive F-Theta Lens Working on Infrared Wavelength Band
WANG Zhao-qi, LIU Juan, FU Ru-lian. Design of Hybrid Refractive-Diffractive F-Theta Lens Working on Infrared Wavelength Band[J]. Infrared Technology , 2006, 28(2): 77-80. DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2006.02.004
Authors:WANG Zhao-qi  LIU Juan  FU Ru-lian
Abstract:
Keywords:f-theta lens   hybrid refractive/diffractive system   laser drilling   optical lens design
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