| 适用于微粒操作的真空微夹研究 |
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| 引用本文： | 刘敏,彭刚,黄心汉. 适用于微粒操作的真空微夹研究[J]. 兵工自动化, 2002, 21(4): 9-12. DOI: 10.3969/j.issn.1006-1576.2002.04.003 |
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| 作者姓名： | 刘敏 彭刚 黄心汉 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,控制科学与工程系,湖北,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划);863-804-4; |
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| 摘 要： | 微夹研究是微机械电子学系统(MEMS)领域的一个前沿课题.在微粒操作中,起主导作用的是表面力(包括静电力、范德华力和张力),重力可忽略.真空微夹由真空喷射泵、线性压力调节阀、电磁开关阀以及满足尺寸和形状要求玻璃吸管组成.其控制系统为一单片机系统,控制命令由上位机(PC机)给出.对300μm玻璃小球的吸取和释放实验表明,系统结构和控制方式可行,效果良好,适用于亚毫米级微粒的自动吸取和释放操作.
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| 关 键 词： | 真空微夹 微粒操作 微粒吸取 微粒放置 |
| 文章编号： | 1006-1576(2002)04-0009-04 |
Research on Vacuum Micro-Tool for Handling Micro-Target |
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| LIU Min,PENG Gang,HUANG Xin-han. Research on Vacuum Micro-Tool for Handling Micro-Target[J]. Ordnance Industry Automation, 2002, 21(4): 9-12. DOI: 10.3969/j.issn.1006-1576.2002.04.003 |
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| Authors: | LIU Min PENG Gang HUANG Xin-han |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Vacuum micro-tool Micro-operation Micro-picking Micro-placing |
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