精缩照相机精缩镜头设计

在半导体集成电路制造工艺中,照相制版工序是关键之一。目前,大规模集成电路的制作对精缩掩模版的要求已相当高,为满足照相制版的需要,对精缩镜头的要求也越来越高。大规模集成电路制版技术,大大地促进了高精度镜头的研制,电子计算机的广泛应用又为设计高质量镜头提供了可能。