| 离子辅助镀膜 |
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| 引用本文： | 周鹏飞,高杨. 离子辅助镀膜[J]. 光学仪器, 1990, 12(4): 12-16 |
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| 作者姓名： | 周鹏飞 高杨 |
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| 作者单位： | 上海机械学院，上海机械学院，上海机械学院 |
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| 摘 要： | 离子辅助淀积技术是目前一种新颖的真空镀膜技术,它的发展历史不长,但已经受到各方面的关注。离子辅助镀膜在光学工业中的推广应用,将使薄膜制备技术进入一个新的发展阶段。
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| 关 键 词： | 离子镀 真空镀膜 光学薄膜 |
Ion-aided Coating Technique |
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| Abstract: | Ion-aided illuviation technique is now a new vacuum coating technique.Though it has only few year of development, still it has drawn attention from various sides. The spreading of this technique in optical industry will move thin-film technique into a new phase of development. |
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| Keywords: | |
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