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| 涂层石英压电晶体湿度传感器 | |
| 作者姓名： | 吕源申 |
| 作者单位： | 天津大学 |
| 摘 要： | 早在一百多年前,人们就发现晶体的压电效应.自1959年Sanerbrey提出石英晶体表面沉积物的质量与频率的变化定量关系以后,为石英晶体用于物性分析奠定了理论基础.1964年King首先用涂层晶体设计出一种称为“压电吸附探测器”的装置,测定了大气中微量水和碳氢化合物,从而引起 |
| 关 键 词： | 石英压电晶体 晶体 湿度传感器 |
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