|
|||||
|
|
| 光干涉法显微镜测量三维表面形貌研究 | |
| 作者姓名： | 余贵华 樊瑜瑾 |
| 作者单位： | 云南工业大学 650O51 |
| 基金项目： | 国家基金委推荐云南省应用基础研究基金资助，清华大学摩擦学重点实验室基金资助项目 |
| 摘 要： | 本文介绍了利用光干涉法显微镜测量三维表面形貌.利用计算机对在光干涉法显微镜下拍摄的零件表面轮廓条纹图象进行图象识别与处理,自动寻找条纹和计算,直接获得三维表面轮廓形貌.测量结果与触针式轮廓仪的测量结果进行了比较. |
| 关 键 词： | 光干涉法 表面形貌 粗糙度测量 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |