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Fe-Si-Al薄膜超声喷涂技术研究
作者姓名:李佳潞  蔡军  杜英华  贾萌  字张雄  潘攀  陈辑
作者单位:中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家重点实验室
摘    要:为抑制行波管振荡,本文研究了用超声喷涂技术制备衰减材料薄膜的方法。测试结果表明,超声喷涂法制备的衰减材料薄膜与手工涂覆相比,驻波比降低了16.3%,平均成膜厚度差减小了0.014 mm。因此采用超声喷涂技术重复性和稳定性更好,浆料利用率高,薄膜衰减材料表面均匀且颗粒分散性良好,具有更小的驻波比和反射系数,可在折叠波导中实现批量化生产。

关 键 词:超声喷涂  折叠波导  薄膜衰减材料  振荡
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