薄膜生长初期形貌的计算机模拟与改进

本文模拟了在低温基底上超薄膜沉积初期表面形貌。文章模拟多个沉积原子同时移动的生长过程，引入了宏观量沉积流量影响。在此基础上讨论了各向异性的影响作用，并改进了模型，修改了基底吸附位置的排列方式，从而获得了与实验结果更相近的图样。