| 大尺寸碲锌镉基碲镉汞材料分子束外延技术研究 |
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| 引用本文： | 高达,李震,王丹,徐强强,刘铭.大尺寸碲锌镉基碲镉汞材料分子束外延技术研究[J].激光与红外,2022,52(3):388-391. |
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| 作者姓名： | 高达 李震 王丹 徐强强 刘铭 |
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| 作者单位： | 华北光电技术研究所,北京 100015 |
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| 摘 要： | 针对高质量、大规模碲镉汞红外焦平面探测器需求的持续增加,本文开展了使用分子束外延方式在50 mm×50 mm(211)B碲锌镉衬底上外延碲镉汞材料技术的研究.通过对碲锌镉衬底改进湿化学腐蚀、碲锌镉衬底预处理、碲锌镉衬底缓冲层生长、碲锌镉基碲镉汞材料工艺开发等方面的研究,开发出了能够稳定获得碲锌镉基碲镉汞材料的工艺.材料...
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| 关 键 词： | 碲锌镉 碲镉汞 分子束外延 |
Research on molecular beam epitaxy growth ofHgCdTe large CdZnTe substrate |
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| GAO D,LI Zhen,WANG Dan,XU Qiang-qiang,LIU Ming.Research on molecular beam epitaxy growth ofHgCdTe large CdZnTe substrate[J].Laser & Infrared,2022,52(3):388-391. |
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| Authors: | GAO D LI Zhen WANG Dan XU Qiang-qiang LIU Ming |
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| Affiliation: | North China Research Institute of Electro Optics,Beijing 100015,China |
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